低溫真空泵的抽氣原理
2012-05-24
低溫真空泵的抽氣原理
低溫真空泵是利用低溫(低于100K)表面冷凝和吸附氣體來獲得和保持真空的裝置。
低溫真空泵的抽氣原理
當(dāng)氣體粒子入射到溫度足夠低的低溫面上時,它們會喪失相當(dāng)多的動能,以致在一定的條件下,通過凝聚,低溫吸附,低溫捕集或吸氣而粘附于表面,使空間的氣體分子數(shù)越來越少,實現(xiàn)了抽氣作用。
氣體主要以凝聚在低溫表面上而抽真空的泵稱為低溫冷凝泵。低溫冷凝泵抽真空時對氣體類型是有選擇的,不同溫度的低溫表面冷凝不同種氣體,達到不同的極限真空度.只有沸點高于固體表面溫度的氣體分子才能被冷凝抽除。
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣休分子發(fā)生吸附而達到抽氣作用的泵稱為低溫吸附泵。吸附劑可分金屬型和非金屬型兩類:金屬型吸附劑主要有鐵、鉭、鑰等,以蒸發(fā)或升華的形式沉積在低溫面上達到吸氣目的;非金屬型吸附劑以活性炭和分子篩為主,用低溫粘結(jié)劑粘在低溫面上,在溫度降低時大量吸附氣體。
低溫捕集或吸附是利用二氧化碳、水熱汽等易冷凝的氣體,在低溫面上凝結(jié)的同時,將不易冷凝的氣體(如氦)一起埋葬或吸附抽除.
實際應(yīng)用的低溫泵常將低溫冷凝、吸附和捕集作用結(jié)合起來,對各種氣體都有抽氣作用。
上海帕特泵業(yè)制造有限公司
2012年05月24日 星期四
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